該儀器是一款專門針對(duì)光學(xué)元件所開(kāi)發(fā)的粗糙度輪廓度測(cè)量系統(tǒng)，分辨率高，量程大，可滿足絕大部分光學(xué)元件的測(cè)量需求，可針對(duì)不同行業(yè)的光學(xué)元件進(jìn)行定制化測(cè)量分析。

點(diǎn)：點(diǎn)、中點(diǎn)、交點(diǎn)、最高點(diǎn)、最低點(diǎn)

線：直線、切線、垂直線、平行線、平分線

角度處理：坐標(biāo)角度、直線角度

圓弧處理：圓弧半徑、圓心距、圓心到直線的距離、交點(diǎn)到圓心的距離、局部圓、切圓

其他：槽深、槽寬、溝邊距、溝心距、水平距等參數(shù)。

位置公差：直線度、凸度、輪廓度

輔助功能：包含輔助點(diǎn)、輔助線、輔助圓

Ra，Rq，Rz（Ry），Rz（DIN），R3z，Rz（jis），Rp，Rv，Rt，Rsk，Rsm，Rc，Rpm，Rku，Rdq，Roc，Mr1，Mr2，Rpk，Rvk，Rk，Rdc，A1，A2，R，Rx，AR，Rcp，Rmax，Rz-ISO

● 直線導(dǎo)軌：高精度導(dǎo)軌

● X軸最大掃描范圍 （mm）：100 （可定制）

● 驅(qū)動(dòng)裝置：伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)

● 傳感器系統(tǒng)：高精度光柵測(cè)量系統(tǒng)

● 分辨率：0.01μm

球面、非球面測(cè)量：

● 靜態(tài)測(cè)力（mN）：0.75

● 輪廓測(cè)量精度（μm）：＜0.5

● 測(cè)量重復(fù)性 （μm）：＜0.3

● 可測(cè)最大角度（°）：77

● 可測(cè)最大口徑 （mm）：100

● 可測(cè)最大厚度（mm）：50